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        真空油:油擴散泵的常見故障及原因

        來源:    作者:    發布時間:2012-11-12 11:02    瀏覽量:490

         

        【惠豐潤滑油提供:油擴散泵的常見故障及原因】

        由于真空設備長期運轉及其它一些因素的影響,擴散泵的性能可能會逐漸變壞,現將使用中經常出現的一些問題如述如下;

        1) 極限真空變低
            原因: a.系統中有滲漏;
                   b.系統太臟;
                   c.泵油污染;
                   d.加熱功率不夠;
                   e.冷卻水不足;
                   f.過量或過冷的冷卻水;
                   g.前級壓力高;檢查密封性能及前級管道是否有泄漏現象;
                   h.快冷管內有水。

        2) 抽氣較慢
            原因: a.加熱功率低;
                   b.油量不足;
                   c.噴帽安裝位置不當或受損。

        3) 進口壓力波動
            原因: a.加熱器輸入功率不當;
                   b.油脫氣;
                   c.擴散泵進口前面系統有滲漏。

        4) 工作腔污染大
            原因: a.前級壓力高;
                   b.在高于10-1Pa壓力下長期工作;
                   c.系統操作有誤。

        5) 返油率過大:
            原因: a. 頂噴嘴帽松動,間隙過大;
                   b. 加熱功率不對

         

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